SPMの1種です。原理は、AFMと同時です。 試料の凹凸像と蛍光像（または透過光像）が同時に、マイクロオーダーで観察可能です。蛍光顕微鏡の分解能ではわからなかったものが観察可能です。 シリコンのカンチレバーの代わりに、光ファイバーを利用して、レーザーを蛍光染色した試料にあて、励起させることにより、光学顕微鏡のレンズを通った光を可視化しています。
